高纯气体
产品说明
电子气体
电子气体
气体品种纯度(%)气体品种纯度(%)气体品种纯度(%)
NF3≥99.9BF3≥99.9CF4≥99.99
SiF4≥99.99SF6≥99.99WF6≥99.9995
C2H6≥99.96CHF3≥99.95BCl3≥99.999
Cl2≥99.999HCl≥99.999SiH2Cl2≥99.0
SiHCl3≥99.0SiH4≥99.996PH3≥99.9997
AsH3≥99.999HBr≥99.998HF≥99.9
Si2H6≥99.8SiCl4≥99.99C4F8≥99.999
NH3≥99.999N2O≥99.999C3F8≥99.0